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英特尔联合力积电推进ZAM技术,新型高带宽内存瞄准2029年量产

2026-05-26 1504

英特尔与软银旗下SAIMEMORY合作研发的Z-Angle Memory(ZAM)技术持续引发业界高度关注。在6月即将举办的2026年超大规模集成电路研讨会(VLSI Symposium)前夕,这项技术再曝新进展——台湾力积电(PSMC)正式加入合作阵营,三方将联合展示新一代高带宽3D内存架构,为AI与高性能计算(HPC)场景提供低功耗、高带宽的存储解决方案。

根据VLSI官方会议列表泄露的预发布摘要,力积电将与英特尔、SAIMEMORY同台演讲,重点介绍“Via-in-One TSV”(一体化硅通孔)架构如何大幅降低定制DRAM晶圆堆叠过程中的数据传输功耗。该架构性能指标亮眼,可实现约0.25Tb/s/mm²的超高内存带宽,同时将数据传输功耗控制在0.35W/mm²以下,完美适配AI训练、HPC等对带宽与能效比要求严苛的工作负载。

此前TechPowerUp报道已披露,基于ZAM技术的HB3DM内存具备显著带宽优势。数据显示,在171mm²芯片面积上构建10GB模块,HB3DM单模块带宽可达5.3TB/s,而当前主流HBM4单堆叠带宽仅约2TB/s,前者带宽实现翻倍提升。

技术细节方面,英特尔、SAIMEMORY与力积电将推出多晶圆后通孔工艺,支持熔融键合晶圆集成,核心采用“一体化硅通孔”结构,在9层定制DRAM晶圆堆叠中,将数据移动能耗降至0.7pJ/bit以下。每层内存采用约3μm超薄硅基底,降低硅通孔(TSV)电阻;搭配尺寸10×85μm²、间距20μm的氧化层沟槽TSV,每层集成约13700个TSV,显著提升高速传输时的信号完整性。为保障互联质量,团队选用O型设计,接触电阻较C型设计降低40%。目前,9层DRAM堆叠已在0.95V-1.2V电压下完成功能验证与可靠性测试,技术稳定性得到确认。

合作分工上,据《经济日报新闻》报道,SAIMEMORY负责技术设计与知识产权管理,英特尔输出3D堆叠与内存架构经验,力积电与日本新科电子(Shinko Electric Industries)提供试产与制造支持。项目计划2027年完成原型开发,2029年实现商业化量产,有望成为HBM之外的重要高端内存选项,缓解AI产业高速增长下的内存性能瓶颈与供应压力。

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