精点科技UPS-150UN超精密划片机，搭载自研超精密液体静压导轨、高刚性气浮运动平台与高精度转台，整机基座采用济南青大理石材质，同时搭配光刻机标准的环境系统，最大程度削弱温度漂移带来的精度扰动，为光...
