半导体制造是全球精度要求最严苛的工业领域之一。随着摩尔定律向 7nm、5nm 及更先进制程持续推进，芯片关键尺寸逼近原子级尺度，晶圆表面的纳米级缺陷就可能导致器件功能失效，直接影响晶圆良率与量产成本。...
