四氟化碳(CF₄,四氟甲烷)作为含氟电子特气核心品类,凭借优异的化学稳定性,广泛用于半导体介质层干法刻蚀、晶圆设备腔体清洗、新型显示面板制造等场景。伴随国内成熟制程与存储芯片产线持续投产,2026年四...