在半导体制造中，刻蚀工艺直接决定了芯片的图形精度，而刻蚀气体的纯度与稳定性则是良率的生命线。随着制程向5nm乃至更先进节点演进，晶圆厂对含氟、含氯等电子特气的要求已近乎苛刻。面对市场上纷繁复杂的供应商...
