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抑制背面开裂,22层玻璃基板迎来新方案

2026-08-19 477

据韩国《首尔经济日报》报道,日本封装基板厂商新光电气工业株式会社(Shinko Electric Industries)完成了22层玻璃芯基板开发。该基板在玻璃芯材两侧各堆叠11层铜布线,能够有效抑制业内所称的“SeWaRe”内部开裂、分层失效问题。

SeWaRe源自日语“背割れ”,意为“背面开裂”,是玻璃基板量产过程中的典型失效模式。玻璃本身脆性较高,切割、热循环过程中产生的边缘应力会诱发隐性微裂纹,裂纹进一步扩展,造成基板内部开裂、层间剥离,直接影响AI大尺寸封装的良率与长期可靠性,也是玻璃基板迈向规模化商用的主要障碍之一。

这款22层玻璃芯增层基板,于7月先进封装峰会(Advanced Packaging Summit)展会上对外公开。技术实现路径上,新光电气采用基板边缘树脂补强方案,搭配专用边缘防护材料,以分散边缘位置的集中应力,缓解热负载条件下SeWaRe缺陷的产生,同时公司还配套自研TGV(玻璃通孔)工艺、多层绝缘与铜布线工艺,完成了高密度多层布线的集成。

面向AI算力场景,大尺寸封装对基板的抗翘曲、尺寸稳定性提出严苛要求。对比传统有机基板,玻璃基板热变形更小,更适配高性能AI芯片的先进封装需求。日本企业在玻璃基板工艺上积累深厚,除新光电气外,大日本印刷(DNP)也已在埼玉县搭建TGV玻璃基板试验产线,推进样品开发工作。

玻璃基板是下一代AI芯片封装的关键载体,实现多层布线结构与抑制SeWaRe缺陷,是从样品走向量产的两大核心关卡。新光电气的22层玻璃基板方案,为高层数玻璃基板的工程化落地提供了技术参考,后续仍需要经历可靠性测试、成本优化等环节,距离大规模量产应用尚需时日。

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